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> > > RF를 안한지 오래됐지만 답글이 없어서 올려봅니다. > RF Coil Power Set이 송신하는 쪽인것으로 보이는데, 송신출력이 1000W일때와 다르게 2000W일때는 출력임피던스가 변할 걸로 보입니다. > REF값이 어떤건지는 모르겠지만 1000W에 맞춰져 있다면, 2000W일때는 바뀐 임피던스에 맞춰서 다시 설정을 하던지 해야 할 것으로 보입니다. > > > > > > 안녕하세요. > > > > 전자공학 쪽을 전공하지 않아, RF Matching 간 궁금한 것이 생겨 질문 드립니다. > > > > 실제 반도체 Wafer process 진행 간, RF Coil Power set 값이 1000W일 경우에는 REF 값이 현업 SPEC IN 수준으로 안정 수준으로 되는데, 2000W를 쏘면, ref 값이 크게 튑니다. > > > > 가해지는 Power가 다르기 때문에 ref 값이 변하게 되는 걸까요? > > > > > >
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