전체 RF전반 안테나 시뮬레이션 SI/PI/EMI 총 게시물 2,754건, 최근 0 건 안내 글답변 · 이름 · 패스워드 · 이메일 · 홈페이지 · 옵션 html · 분류 선택하세요RF전반 안테나 시뮬레이션 SI/PI/EMI · 제목 · 내용 > > > 안녕하세요 반도체 업계 종사하고있는 아무개입니다. > > depositon 설비에서 plasma 생성을 위해 dual frequency로 HF랑 LF generator를 사용하고 있는데요. > > LF available power라는 항목이 설비에서 올라오고 있는데 정확이 어떤 항목인지 모르겠습니다. > 설명서에서는 아래와 같이 설명해주고 있는데 화학돌이다 보니 와닫지가 않네요. > Displays the currently available power percentage (1–100%) that the generator can produce out of the maximum power. > > 대충 HF generator에서는 impedance, LF generator에서는 해당 항목이 올라오고 두 항목이 서로 연관이 있다 정도로만 경험적으로 알고 있는데 도움 부탁 드리겠습니다. > > 임시저장 · 파일 + - · 자동등록방지 자동등록방지 숫자음성듣기 새로고침 자동등록방지 숫자를 순서대로 입력하세요.   글저장  목록