총 게시물 2,736건, 최근 0 건
안내
글쓰기
전체
RF전반
안테나
시뮬레이션
SI/PI/EMI
글답변
· 이름
· 패스워드
· 이메일
· 홈페이지
· 옵션
html
· 분류
RF전반
안테나
시뮬레이션
SI/PI/EMI
· 제목
· 내용
☞특수문자
hi
> > > 안녕하세요 반도체 업계 종사하고있는 아무개입니다. > > depositon 설비에서 plasma 생성을 위해 dual frequency로 HF랑 LF generator를 사용하고 있는데요. > > LF available power라는 항목이 설비에서 올라오고 있는데 정확이 어떤 항목인지 모르겠습니다. > 설명서에서는 아래와 같이 설명해주고 있는데 화학돌이다 보니 와닫지가 않네요. > Displays the currently available power percentage (1–100%) that the generator can produce out of the maximum power. > > 대충 HF generator에서는 impedance, LF generator에서는 해당 항목이 올라오고 두 항목이 서로 연관이 있다 정도로만 경험적으로 알고 있는데 도움 부탁 드리겠습니다. > >
임시저장
· 파일
+
-
· 자동등록방지
자동등록방지
숫자음성듣기
새로고침
자동등록방지 숫자를 순서대로 입력하세요.
글저장
목록