전체 RF전반 안테나 시뮬레이션 SI/PI/EMI 총 게시물 2,754건, 최근 0 건 안내 글답변 · 이름 · 패스워드 · 이메일 · 홈페이지 · 옵션 html · 분류 선택하세요RF전반 안테나 시뮬레이션 SI/PI/EMI · 제목 · 내용 > > > Plasma 발생 관련 질문입니다. > > RF Generator를 이용하여 Plasma를 발생시키켜서 Treatment를 진행하고 있습니다. > > RF Generator에 1Kw의 전압을 인가하여 Plasma를 발생시키는데 어느 순간 > > Foward 값이 일정 수준에서 더 이상 올라가지 않고 1Kw까지 도달하지 않습니다. > > 그런데 이것이 일정하게 계속 나타나는 것이 아니고 일정시간 가동하지 않다가 > > Generator를 초기에 가동하였을때 주로 발생합니다.(하지만 사용 중간에도 발생합니다) > > 제가 RF에 대한 기초지식이 거의 전무한지라 해당 업체에 물어봐서 turning도 해보고 > > 초기 전력값 ramp up 과정이 너무 급격한거 갔다고만 들었습니다.(완만하게 조절해봐도 안됩니다) > > Generator와 Macther 둘다 점검 진행하였는데 Macther 내부에서 과열에 의한 전극봉 주변이 > > 붉게 변하는 정도 밖에 특이사항이 확인이 되지 않습니다. > > 또한 제가 Generator를 다수 보유하고 있는데 특정 Generator에서만 계속 발생합니다. > > 더이상 점검진행 해볼게 있을까요? > > (Chamber에 Generator를 물려 Treatment를 실시하는 업체입니다.) > > 임시저장 · 파일 + - · 자동등록방지 자동등록방지 숫자음성듣기 새로고침 자동등록방지 숫자를 순서대로 입력하세요.   글저장  목록