반도체 설비쪽 이시네요 ㅎ
RG 393 케이블은 50옴 기준에서 대략 10kW? 정도 스펙이었던 것 같습니다.
근데 지금 사용하시는 환경은 매쳐 이후에서 챔버 사이에 연결해서 쓰시니
50옴 환경이 아니고 50옴 환경에서 쓰실 때 보다 전류가 상당히 높겠죠
그때문에 발열 생기는거고.. 어쩔 수 없습니다.
설비 구조상 매쳐를 붙일수가 없으신 것 같은데
몇가지 해결방법이 있긴하나..
뭐 어쨌든 지금 쓰시는 환경에서의 발열은 챔버 임피던스에 따라서 당연히 발생할수밖에없는 발열입니다.
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> RF Cable 발열관련 문의 드립니다.
> RF Matcher - 장비로 연결되는 RF Cable(RG393, 1.4m) 사용하고 있습니다.
> RF 300W 인가(반사파 <3W 수준)하여 1분 정도 사용 중에 RF cable 발열(만질 수 없을 정도로 뜨거운 수준)이 발생 되었습니다.
> 발열의 원인이 무엇이며 해결 방법은 어떻게 되는지, 고수님들 의견 부탁 드립니다.
> 감사합니다.
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