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[RF전반]

Re: RF Matching 질문

글쓴이 : 직선태양 날짜 : 2023-03-17 (금) 12:52 조회 : 709
RF를 안한지 오래됐지만 답글이 없어서 올려봅니다.
RF Coil Power Set이 송신하는 쪽인것으로 보이는데, 송신출력이 1000W일때와 다르게 2000W일때는 출력임피던스가 변할 걸로 보입니다.
REF값이 어떤건지는 모르겠지만 1000W에 맞춰져 있다면, 2000W일때는 바뀐 임피던스에 맞춰서 다시 설정을 하던지 해야 할 것으로 보입니다.
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 > 안녕하세요.
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> 전자공학 쪽을 전공하지 않아, RF Matching 간 궁금한 것이 생겨 질문 드립니다.
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> 실제 반도체 Wafer process 진행 간, RF Coil Power set 값이 1000W일 경우에는 REF 값이 현업 SPEC IN 수준으로 안정  수준으로 되는데, 2000W를 쏘면, ref 값이 크게 튑니다.
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> 가해지는 Power가 다르기 때문에 ref 값이 변하게 되는 걸까요?
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