저는 플라즈마를 공부하는 학생입니다. RF환경에서 CCP 장치를 사용하여 플라즈마를 발생시키는데 플라즈마의 특성을 측정하기 위해 플라즈마로 부터 전류를 측정합니다. 하지만 RF환경에서 발생시키는 플라즈마여서 전류 또한 RF에 의해 흔들려서 측정되는데 이때 발생되는 주파수 대역이 13.56Mhz와 이로인한 고조파 성분들이 측정됩니다. 이를 제거하기 위해 BSF를 사용하게 되는데요 필터 설계해주는 프로그램으로 설계해본 결과 주로 nH단위의 인덕터를 사용하게 됩니다. 하지만 SMD 인덕터밖에 부품이 검색이 안되는데 이 점에서 궁금한 점이 있어서 이렇게 문의드립니다.
1) 13.56MHz와 27.12MHz의 특정 주파수를 제거하는 BSF필터를 사용할때 SMD 인덕터와 그외의 인덕터를 사용할때 다른점이 있을까요?
2) 원하는 단위의 인덕터를 구하기 힘들어 직/병렬을 통해서 구현하려고 하는데 이때 주의해야 하는 점이 있을까요?
