Plasma 발생 관련 질문입니다.
RF Generator를 이용하여 Plasma를 발생시키켜서 Treatment를 진행하고 있습니다.
RF Generator에 1Kw의 전압을 인가하여 Plasma를 발생시키는데 어느 순간
Foward 값이 일정 수준에서 더 이상 올라가지 않고 1Kw까지 도달하지 않습니다.
그런데 이것이 일정하게 계속 나타나는 것이 아니고 일정시간 가동하지 않다가
Generator를 초기에 가동하였을때 주로 발생합니다.(하지만 사용 중간에도 발생합니다)
제가 RF에 대한 기초지식이 거의 전무한지라 해당 업체에 물어봐서 turning도 해보고
초기 전력값 ramp up 과정이 너무 급격한거 갔다고만 들었습니다.(완만하게 조절해봐도 안됩니다)
Generator와 Macther 둘다 점검 진행하였는데 Macther 내부에서 과열에 의한 전극봉 주변이
붉게 변하는 정도 밖에 특이사항이 확인이 되지 않습니다.
또한 제가 Generator를 다수 보유하고 있는데 특정 Generator에서만 계속 발생합니다.
더이상 점검진행 해볼게 있을까요?
(Chamber에 Generator를 물려 Treatment를 실시하는 업체입니다.)
