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[RF전반]

RF Matching 질문

글쓴이 : 반도체엔지니어 날짜 : 2023-03-10 (금) 05:05 조회 : 1709
안녕하세요.

전자공학 쪽을 전공하지 않아, RF Matching 간 궁금한 것이 생겨 질문 드립니다.

실제 반도체 Wafer process 진행 간, RF Coil Power set 값이 1000W일 경우에는 REF 값이 현업 SPEC IN 수준으로 안정  수준으로 되는데, 2000W를 쏘면, ref 값이 크게 튑니다.

가해지는 Power가 다르기 때문에 ref 값이 변하게 되는 걸까요?

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