안녕하세요, 저는 MEMS 관련해서는 잘 모르겠지만 단순히 인덕터에 관해서만 말씀드리겠습니다.
질문글에서 언급하신 공진주파수는 Self Resonance Frequency를 이야하시는거겠죠?
SRF를 높이고 싶으시면 parasitic cap을 줄이시면 되지 않을까 싶네요.
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> 회사에서 MEMS 인덕터 만드는 일을 하고 있습니다.
> 저는 MEMS 공정 개발이 주 업무이고, 인덕터에 대해서는 왕초보입니다.
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> 인덕터 simulation에서 S11그래프를 볼 때 Resonance frequency 가 9GHz 이상인 인덕터를 만들려고 하는데 현재 7GHz 수준입니다.
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> 코일간의 간격을 늘리면 원하는 수준으로 나올 수 있다고 하는데, 고수님들의 조언을 듣고 싶습니다.
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> 어떤 부분이든 좋으니 조언 바랍니다~
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