인덕터 공진 주파수 크게 하는 방법

회사에서 MEMS 인덕터 만드는 일을 하고 있습니다.
저는 MEMS 공정 개발이 주 업무이고, 인덕터에 대해서는 왕초보입니다.

인덕터 simulation에서 S11그래프를 볼 때 Resonance frequency 가 9GHz 이상인 인덕터를 만들려고 하는데 현재 7GHz 수준입니다.

코일간의 간격을 늘리면 원하는 수준으로 나올 수 있다고 하는데, 고수님들의 조언을 듣고 싶습니다.

어떤 부분이든 좋으니 조언 바랍니다~