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[시뮬레이션]

Re: ICP 코일

글쓴이 : 소타임 날짜 : 2021-04-01 (목) 13:35 조회 : 58
플라즈마는 함께 고려하게 되면 multi-physics 해석을 해야해서 매우 어려운 해석입니다.

플라즈마를 고려하지 않은 전자기장 해석은 상용화된 전자기장 해석 프로그램을 이용하여 해석하기도 합니다.

이때는 실제 공정에 사용되는 파워를 입력하여
VVC Control, E/H Field, 전류/전압 분포, ICP Source 및 파츠에 인가되는 전압치, 전류치 등을 해석합니다.
 

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 > 13.56MHz RF를 인가하여 Inductive Coupled Plasma 발생에 사용하는 코일 해석이 가능할지 여부를 알고 싶읍니다.
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