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[RF전반]

Re: 수직형 디바이스 측정방법

글쓴이 : 이상진 날짜 : 2020-12-14 (월) 09:24 조회 : 140


수직 구조의 디바이스를 on-wafer 측정하시려면...
별도의 프로브를 사용하는 것이 아니라
첨부 그림과 같이 별도의 probe arm이 필요합니다.



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 >
 > 안녕하세요.
> 대학교에서 RF 디바이스 설계 및 측정을 공부하고 있는 학부생입니다.
>
> RF 이론이나 개념들에 대한 공부를 할 때 정말 많이 도움이 되었던 RFDH 여러분들에게 감사드리며 질문 하나만 올리겠습니다!
>
> 측정하고자 하는 디바이스 중 port1과 port2의 위치가 수직인 T형의 디바이스가 있습니다.
> (첨부 그림)
>
> 이런 디바이스를 측정할 때엔 수직한 프로브를 따로 구매하여 사용해야 하는 건가요?
> 아니면 저러한 형태의 디바이스를 측정하는 경우 일반적으로 어떤 방법을 사용하나요?
>
> 측정은 RF probestation 위에서 이루어 지고 2 port VNA를 사용합니다.
>
> 답변 주시면 결초보은 하겠습니다!
>
> 감사합니다.
 >
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